Sterylizacja gazowa tlenkiem etylenu jest procesem niskotemperaturowym i jest najbardziej popularną metodą chemicznej sterylizacji. Jest ona głównie stosowana do sterylizacji wyrobów medycznych i sprzętu medycznego jednorazowego użytku.
W procesie jest stosowany czysty tlenek etylenu lub jego mieszanina z dwutlenkiem węgla lub hydroksyfreonem.
Tlenek etylenu w temperaturze pokojowej i pod normalnym ciśnieniem atmosferycznym jest gazem o bardzo dobrych właściwościach penetrujących przede wszystkim tworzywa sztuczne, z których wykonana jest większość wyrobów jednorazowego użycia oraz coraz liczniejsza grupa wyrobów wielokrotnie stosowanych. Tlenek etylenu jest substancją bardzo reaktywną chemicznie, zarówno w fazie ciekłej, jak i w fazie gazowej. Efektem jego reaktywności są silne właściwości biobójcze. Do sterylizacji wyrobów medycznych tlenek etylenu stosowany jest od czasów II wojny światowej.
Sterylizacja tlenkiem etylenu dotyczy wyrobów kompatybilnych z metodą, które nie mogą być sterylizowane parą wodną. Kompatybilność zdefiniowana jest jako zdolność procesu sterylizacji do osiągnięcia zamierzonych rezultatów bez szkodliwego wpływu na produkt. Produktami medycznymi podlegającymi procesowi sterylizacji tlenkiem etylenu są np.: materiały szewne wchłaniane, cewniki moczowodowe i siatki przepuklinowe (materiał implantowany na okres ponad 30 dni), rurki intubacyjne i tracheostomijne, igły biopsyjne i do znieczuleń zewnątrzoponowych, kaniule dożylne, igły, strzykawki, kaniule dotętnicze, rękawice chirurgiczne. Zasada działania tlenku etylenu polega na jego chemicznym związaniu się z cząsteczkami białek mikroorganizmów, zarówno cytoplazmatycznych, jak i jądrowych. Zachodząca reakcja alkilacji prowadzi do nieodwracalnego uszkodzenia biorących w niej udział białek funkcjonalnych.
Proces sterylizacji odbywa się w sterylizatorach próżniowych lub ciśnieniowych.
Metody sterylizacji chemicznej, bez względu na rodzaj stosowanych substancji niosą ze sobą określone zagrożenia. Tlenek etylenu jako substancja rakotwórcza i mutagenna podlega bardzo restrykcyjnym wymaganiom w zakresie sterylizacji wyrobów medycznych należy wiec zadbać o bezpieczeństwo i prawidłowość prowadzonych procesów.